隨著光學在各個領域當中的應用，使得它也能為測厚行業里帶來貢獻。其中就有大眾所知的光學膜厚儀。它利用光學的特點，能夠直接檢測出物件涂層、或者是其它物件的厚度。該儀器所使用的原理，便是光的折射與反射。

　　

　　這種儀器在使用時，擺放在物件的上方，從儀器當中發射了垂直向下的可視光線。其中一部分光會在膜的表面形成一個反射，另一部分則會透過儀器的薄膜，在薄膜與物件之間的界面開成反射，這個時候，薄膜的表面，以及薄膜的底部同時反射的光會造成干涉的現象。儀器便是利用了這樣的一種現象，從而測量出物件的厚度。厚度的測量看似簡單，實測上所利用的光反射原理，卻是需要經過一系列的設計才能達到如此理想狀態。如此光學膜厚儀的使用，便也有著其它傳統測厚儀所沒有的優點。

　　光學膜厚儀能夠避免前期的樣品處理，甚至是不需要樣品來進行試樣工作。傳統的測厚儀，在測量物件時，需要進行樣品的處理，使樣品與被測量物件一致，在測量時直接應用于樣品測量。而儀器的使用是直接應用于被測量物體。這樣的一個過程便為我們節省了不少的工作以及資源。利用光學膜厚儀，它可以避免了被測量物件的損壞。之所以普通傳統的測厚儀需要用到樣品來進行試測，就是因為在測量時，會對物體造成一定程度的表面損壞，為了避免物件的損壞，才會需要應用樣品。而光學膜厚儀，雖然直接應用于物件表面，但其它放射出來的光卻是一樣沒有實質的事物，在測量的時候并不會對物件造成什么樣的損傷。

　　

　　光學膜厚儀的使用并不僅僅有著以上這些優點，它的優點還是在于它的jīng確度比普通的測厚儀高。既使是很微小的物件，也可以利用這樣的一種儀器來測量它的厚度，而且還不用擔心物件會因此而受到破壞。于是，光學膜厚儀也就成了人們眼中的香勃勃。